| حجم منطقة العمل (قطر * ارتفاع ملليمتر) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| الفراغ النهائي (Pa) | 1*10- 41 * 10-3 | 1*10- 41 * 10-3 | 1*10- 41 * 10-3 |
| الحرارة القصوى (°C) | 2400 2500 | 2400 2500 | 2400 2500 |
| توحيد درجة الحرارة (°C) | ±75 | ±75 | ±7.5 ±10 |
| معدل ارتفاع الضغط (Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
