| حجم منطقة العمل (D*H mm) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| الفراغ النهائي (Pa) | 1*10- 4/ 1 * 10-3 | 1*10- 4/ 1 * 10-3 | 1*10- 4/ 1 * 10-3 |
| الحرارة القصوى (°C) | 2400 / 2500 | 2400 / 2500 | 2400 / 2500 |
| توحيد درجة الحرارة (°C) | ±75 | ±75 | ±10 |
| معدل ارتفاع الضغط (Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
