فرن ترسب بخار الفراغ
فرن ترسب بخار الفراغ فرن CVD، ترسب بخار كيميائي، فرن الفراغ
الميزات الرئيسية:
استخدام فرن ترسب البخار: يمكن استخدام هذا الفرن المتكامل ترسب البخار الكيميائي الرسمي لتترسب البخار الكيميائي للمواد المركبة مع غاز الديروكربون UND (مثل C3H8),الخ) كمصدر للكربون ، مثل CVD ، ومعالجة CVI للمواد المركبة C / C ، ومواد المركبة SiC ، ومعالجة الكربونة السطحية لأجزاء الجرافيت ، وإنتاج الجرافين.
الغرض من فرن ترسب البخار:
يمكن استخدام هذا الفرن المتكامل لتركيب البخار الكيميائي لتركيب البخار من المواد المركبة مع غاز الدروكربون UND (مثل C3H8 ، وما إلى ذلك) كمصدر للكربون ،مثل CVD، معالجة CVI للمواد المركبة C / C ، المواد المركبة SiC ، معالجة الكربونية السطحية لأجزاء الجرافيت ، وإنتاج الجرافين.
خصائص فرن ترسب البخار:
يمكن أن يحقق تصميم درجة حرارة عالية متعددة الوظائف ترسب بخار كيميائي ومعالجة الرسم الجوفي في وقت واحد.
درجة حرارة التشغيل مرتفعة تصل إلى 2600، ويمكن أن تعمل بشكل مستقر وموثوق لفترة طويلة.
نظام التحويل التلقائي لقياس درجة الحرارة جنبا إلى جنب مع المزدوج الحراري ومقاييس الحرارة بالأشعة تحت الحمراء يمكن أن تحقق عرض وتحكم في نطاق درجة الحرارة بأكملها.
نظام التحكم في تحويل تردد التدفئة عن طريق الاستقبال باستخدام IGBT كجهاز الطاقة الرئيسي يجعل المعدات توفير الطاقة وتوفير الطاقة،مع مكونات هارمونية صغيرة ولا تتداخل مع المعدات الخارجية.
يضمن عرض التدفق الدقيق والتحكم في الغازات المدخلة والمخرجة استقرار المنتج.
يتم استخدام غرفة ترسب الهيكل الخاص ، والتي لها تأثير ختم جيد وقدرة قوية ضد التلوث
يتم استخدام مسار غاز الترسب متعدد القنوات ، ومجال التدفق موحد ، ولا يوجد زاوية ميتة ترسب ، وتأثير الترسب جيد.
نظام التصفية الخاص يمكن أن يعالج بشكل فعال القطران والغبار الصلب والغاز العضوي ، وما إلى ذلك الناتج خلال عملية ترسب الكربون.
المعلمات التقنية لفرن ترسب البخار:
